电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体，低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。
与传统的方法相比，等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、没有污染等显著的优点，同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果。现在低温等离子设备广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温消菌及污染治理等多种领域。
等离子设备应用领域：
等离子设备主要适用于各种材料的表面改性处理：表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。
广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温消菌及污染治理等多种领域，是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。及印刷包装行业、汽车制造行业、塑料橡胶行业、光电制造行业、金属涂装行业、化纤及纺织行业、化纤及纺织行业、印刷喷码行业。
等离子设备新技术：
等离子设备中频，射频等离子处理机型；处理方式有水平、垂直、卷式RTR、转鼓等真空等离子处理设备和喷射、准辉光、隧道、水平线多种常压等离子处理设备；
等离子处理机具有高稳定性、高性价比、高均匀性等诸多优点。
特色鲜明的处理腔体形状和电结构可以满足不同形状、不同材质的表面处理要求，包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。
低温等离子体表面处理设备、水平式低温等离子体表面处理设备、卷对卷式低温等离子体表面处理设备、以及大气压辉光放电表面处理设备。
